「フロンティアシステム」がこれまでに手掛けた工場の生産ラインにおける検査装置の実績・検査事例の詳細についてご紹介します。検出画像や弊社およびお客様からのコメントを掲載しておりますので、ぜひご覧ください。

ガラス

N社 ガラス基板検査装置

導入年月 2015年9月
導入地域 大阪府
検査対象 ガラス基板

システム構成

KE-XGタイプ

システム構成

検出画像

N社 ガラス基板検査装置

欠点撮像画像01

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検査概要

検査仕様

①種類:ガラス基板
②色:黒(レジスト面、ガラス面
③チップサイズ:4.6~5インチ(7インチ MAX)
③厚み: 0.3mm~0.6mm
④ラインスピード:4m/min
⑤カメラ台数:幅方向に4台(表裏各光学別検査、合計20台)
⑥最小欠陥:0.3mm以上のキズ、ムラ、異物、よごれ、液ダレ等各種
⑦検出分解能:X幅方向:0.1mm/bit  Y流れ方向:0.1mm/SCAN(4m/min時)

フロンティアシステムからのコメント

特徴

・本装置は、対象となる欠点の特徴別に光学系を組み合わせて枚葉ガラス基板を全面検査可能とした独自の検査ステージの検査装置です。