「フロンティアシステム」がこれまでに手掛けた、工場の生産ラインにおける検査装置の実績・検査事例の詳細についてご紹介します。システム構成や検出画像、特長コメントを掲載しております。

検査対象	サイズ 4.6～5インチ
検査項目	0.3mm以上のキズ・ムラ・異物・汚れ・液ダレなど
導入装置	KE-XGXMシリーズ

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

検査仕様

①種類：ガラス基板
②色：黒（レジスト面、ガラス面）
③サイズ：4.6～5インチ（7インチ MAX）
④厚み：0.3ｍｍ～0.6ｍｍ
⑤ラインスピード：4m/min
⑥カメラ台数：幅方向に4台（表裏各光学別検査、合計20台）
⑦最小欠陥：0.3mm以上のキズ・ムラ・異物・汚れ・液ダレ
⑧検出分解能：X幅方向　0.1mm/bit、Y流れ方向　0.1mm/SCAN（4m/min時）
⑨検査項目：ワレ・カケ・キズ・汚れ・異物・気泡・脈理など

特長

本システムは、ガラス基板の表面と裏面をそれぞれ4台のラインセンサカメラと、透過型と反射型のLEDライン照明で検査する構成です。
対象となる欠点の特徴別に光学系を組み合わせて、枚葉ガラス基板の全面検査を可能とした独自の検査ステージです。

モノクロ無地表面欠陥検査システム『KE-XGXMシリーズ』の製品情報はこちら>>

• 前の事例
• カテゴリ一覧に戻る
• 次の事例

実績・検査事例一覧に戻る